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华海清科“一种抛光防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法”专利公布

发布时间:2025-06-17点击次数:

天眼查信息显示,华海清科股份有限公司于2025年3月14日公开了一项名为“一种抛光防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法”的专利,专利申请公布号为cn119609920a。

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华海清科“一种抛光防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法”专利公布

该发明涉及一种抛光防护装置、化学机械抛光系统及抛光方法,其中所述抛光防护装置包含设置在抛光盘外周侧的环形挡圈;升降组件的一端固定连接在抛光系统基座上,另一端与挡圈相连,用于驱动挡圈上下移动;并且所述升降组件配备有防护套,用于防止抛光过程中产生的废液渗入升降组件内部。

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